Halbleiter
Innovative Anwendungen
Die schnellen und äußerst präzisen Heizsysteme von watttron erlauben eine exakte Temperaturregelung bis in den Sub‑Kelvin‑Bereich.
watttrons digitale Heiztechnologie
Die digitale Heiztechnologie von watttron ist ein innovatives Heizsystem, das eine präzise, lokal gesteuerte Temperaturregelung durch eine Anordnung aus individuell steuerbaren Heizpixeln ermöglicht. Die Heizpixel sind gleichzeitig Temperatursensoren und ermöglichen eine Echtzeitregelung der Temperaturverteilung. Diese innovative Technologie wurde ursprünglich für die Kunststoffverarbeitung im Bereich Verbraucherverpackungen entwickelt und eignet sich ideal für Halbleiteranwendungen, die ein hochpräzises thermisches Management erfordern. Beispielsweise ist bei der Waferverarbeitung oder der Fertigung mikroelektronischer Komponenten eine exakte Temperaturregelung von entscheidender Bedeutung, um die Produktqualität und den Ertrag sicherzustellen.
Schlüsselmerkmale der digitalen Heiztechnologie
Schnelle Abkühlraten:
in Kombination mit Kühlelementen (derzeit hauptsächlich Wasserkühlung) bis zu 100 K/s
Extrem hohe Aufheizraten:
aufgrund der geringen thermischen Masse des Heizpixels bis zu 450 K/s
Präzise Erwärmung:
Beibehaltung einer Temperaturgenauigkeit von 0.1 K für jedes Pixel, auch während der Aufheizphase
Breiter Temperaturbereich:
von 35 °C (oder kälter, in Kombination mit einem Kühlsystem) bis zu 600 °C
Extrem hohe Temperaturgradienten:
in Kombination mit Kühlung ist es möglich, einen dauerhaften Temperaturunterschied von 280 K über eine Distanz von 1 cm zu erreichen und halten
Hohe Heizleistungsdichte:
bis zu 180 W/cm²
Inerte Materialien:
das Materialsystem wurde so konzipiert, dass es geringe Ausgasungscharakteristika aufweist, was es für Reinräume und UHV geeignet macht
In-line Prozessüberwachung:
die kontinuierliche Überwachung der elektrischen Leistung, die zur Aufrechterhaltung der vorgegebenen Temperatur jedes Heizpixels benötigt wird, ermöglicht die Erkennung von Prozessabweichungen
Erweiterbare Funktionalitäten:
da die Heizelemente in-house entwickelt werden, besteht die Möglichkeit, zusätzliche Funktionen wie Mikroaktuatoren oder VIAs zu integrieren
Skalierbarkeit:
dank des modularen Konzepts sind die Heizsysteme an verschiedene Werkzeuge und Gerätegrößen anpassbar. Typische Größe eines Heizpixels: quadratisch 5 mm × 5 mm, jedoch auch andere Formen und Größen möglich sind
Echtzeitsteuerung:
integrierte, prozessnahe Temperatursensoren gewährleisten konstante Prozessbedingungen
Integrierte Steuerungshardware:
Betrieb über Benutzeroberfläche (GUI) oder Protokolle wie EtherNet/IP, ModbusTCP, MQTT, ProfiNet
Vollständiges System:
inklusive Heizelement, Steuereinheit und Benutzeroberfläche für einen nahtlosen Betrieb
Weltweiter Support:
zuverlässiger Service, egal wo Sie sind
